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    中文版 / ENGLISH
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      2019年

    • 201912

      泛半導體應用TFLITE研制成功
    • 201912

      獲評國家知識產權示范企業
    • 201912

      完成第四輪融資
    • 20199

      SACVD研制成功并出廠到客戶端

      2018年

    • 201812

      首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
    • 201810

      12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證

      2017年

    • 201712

      首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
    • 201710

      PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
    • 20179

      SAP系統上線
    • 20178

      完成第三輪融資

      2016年

    • 201612

      拓荊新廠投入使用
    • 20164

      十一五重大專項通過國家驗收
    • 20163

      首臺12英寸ALD出廠到客戶端

      2015年

    • 201512

      獲批國家十三五科技重大專項
    • 20159

      完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
    • 20153

      PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片

      2014年

    • 201412

      獲批遼寧省薄膜裝備工程研究中心
    • 20148

      中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
    • 20145

      完成公司首輪增資

      2013年

    • 201312

      PF-300T通過中芯國際產品線測試
    • 20135

      首臺12寸PF-300銷售

      2012年

    • 201212

      推出12英寸多反應腔PF-300T設備

      2011年

    • 201110

      首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
      成功研制2-12英寸單腔SC-300設備

      2010年

    • 201010

      12英寸PECVD樣機1裝調完成
    • 20104

      沈陽拓荊科技有限公司成立

      2009年

    • 20099

      12英寸PECVD設計工作啟動

      2008年

    • 200812

      獲批國家十一五科技重大專項
    • 20084

      首臺CC1-150銷售

      2007年

    • 20076

      首臺CC1-150裝調完成

      2006年

    • 20067

      PECVD事業部成立于中科院沈陽科儀

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    2019年
    • 12

      2019
      泛半導體應用TFLITE研制成功
    • 12

      2019
      獲評國家知識產權示范企業
    • 12

      2019
      完成第四輪融資
    • 9

      2019
      SACVD研制成功并出廠到客戶端
    2018年
    • 12

      2018
      首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
    • 10

      2018
      12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
    2017年
    • 12

      2017
      首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
    • 10

      2017
      PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
    • 9

      2017
      SAP系統上線
    • 8

      2017
      完成第三輪融資
    2016年
    • 12

      2016
      拓荊新廠投入使用
    • 4

      2016
      十一五重大專項通過國家驗收
    • 3

      2016
      首臺12英寸ALD出廠到客戶端
    2015年
    • 12

      2015
      獲批國家十三五科技重大專項
    • 9

      2015
      完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
    • 3

      2015
      PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
    2014年
    • 12

      2014
      獲批遼寧省薄膜裝備工程研究中心
    • 8

      2014
      中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
    • 5

      2014
      完成公司首輪增資
    2013年
    • 12

      2013
      PF-300T通過中芯國際產品線測試
    • 5

      2013
      首臺12寸PF-300銷售
    2012年
    • 12

      2012
      推出12英寸多反應腔PF-300T設備
    2011年
    • 10

      2011
      首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
      成功研制2-12英寸單腔SC-300設備
    2010年
    • 10

      2010
      12英寸PECVD樣機1裝調完成
    • 4

      2010
      沈陽拓荊科技有限公司成立
    2009年
    • 9

      2009
      12英寸PECVD設計工作啟動
    2008年
    • 12

      2008
      獲批國家十一五科技重大專項
    • 4

      2008
      首臺CC1-150銷售
    2007年
    • 6

      2007
      首臺CC1-150裝調完成
    2006年
    • 7

      2006
      PECVD事業部成立于中科院沈陽科儀

    ?2018 拓荊科技 遼ICP備05007152號

    技術支持:優諾科技

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